2.设备冲洗:在半导体制造过程中,各种设备和管道需要定期进行冲洗,以去除沉积的污染物和杂质。超纯水设备可以提供高纯度的水源,确保设备的清洁和正常运行。
3.纯化处理:在半导体制造工艺中,一些关键的步骤需要使用纯化水来稀释化学品、调整溶液浓度等。超纯水设备可以提供高纯度的水源,确保工艺步骤的准确性和一致性。
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